坂口電熱㈱がMEMS向けレーザ水素アニール装置を開発 ミニマルファブ推進機構

サポイン事業（H30年度～R2年度）により、

 坂口電熱㈱は、東北大学、産総研、ミニマルファブ推進機構と共同で、

 レーザ水素アニール装置を開発しました。

 以下の坂口電熱㈱のHPで、動画など本件の詳細をお知らせ致します。

 ご質問などございましたら、同HP内の「お問い合わせ」よりご連絡ください。

 http://sakaguchi-dennetsu.co.jp/lineup/exlaser/exlaser_minimal.html