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セミコンジャパン2012

2012/11/12

セミコンジャパン2012出展のご案内

設備投資を1/1000とし多品種少量ビジネスを成立させるミニマルファブの開発は、リソグラフィ関連プロセス装置群が実用に供する段階に達しました。今春国家プロジェクトとして成立し、「ミニマルファブ技術研究組合」が産総研と共に開発を加速させております。装置内部と外部が完全に遮断される局所クリーン化テクノロジーを開発してミニマル装置群に搭載しているため、クリーンルームが不要となります。本年は、昨年業界に大きなインパクトを与えたパーティクルだらけのセミコン会場でのリソ実演に加え、ずっと課題であったプラズマエッチング装置、プラズマスパッタ装置等のプロトタイプをご覧頂きます。私たちの開発が玄人的に着実に進展している様子を是非ご確認下さい。今年度は12小間の広いスペースを用意し、皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。

産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会
代表 原 史朗

- Minimal Fab in SEMICON JAPAN 2012 -

会  期 :2012年12月5日(水)~12月7日(金) 10:00~17:00
会  場 :幕張メッセ<http://www.semiconjapan.org/ja/
出展ブース:小間No.2D-801 <セミコン2012フロアガイド
主  催 :産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会
共  催 :ミニマルファブ技術研究組合

【出展品目】
1. ミニマル洗浄機
2. ミニマル塗布装置
3-4.ミニマルマスクレス露光装置(2筐体セット)
5. ミニマル現像装置
6. ミニマルエッチング装置
7. ミニマルスパッタ装置
8. ミニマルマスクアライナー
9. ミニマル集光加熱炉
10. ミニマルレーザ加熱炉
11. ミニマル抵抗加熱炉
12. ミニマルCMP
13. ミニマルウェットエッチング装置
14. ミニマルレジスト除去装置
15. ミニマルマスクレス露光機(1筐体化新型)
・ミニマルシャトル(密閉ウェハ搬送容器)
・ミニマルウェハケース
・ミニマルマニュアルシャトルオープナー
・ミニマルウェハ
・ミニマル装置前室(各装置内に組込み済み)
・ミニマル装置筐体ドッキングシステム
・EDAツール、他

【出展品開発者】
(株)プレテック、(株)三明、(株)ナノテック、リソテックジャパン(株)、(株)デザインネットワーク、(株)ビームトロン、(株)米倉製作所、坂口電熱(株)、大日商事(株)、高島産業(株)、信越ポリマー(株)、(有)VIYIA、(株)工裕精工、不二越機械工業(株)、(株)小松精機工作所、(株)プロスパイン、サンヨー(株)、(株)ピーエムティー、光洋サーモシステム(株)、(株)ロジックリサーチ、(株)ジーダット、TOOL(株)、(株)ライズワン、(株)アドウェルズ、横河フィールドエンジニアリングサービス(株)、啓装工業(株)、誠南工業(株)、(株)栗田製作所、大成建設(株)、CKD(株)、産総研。

 

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